研磨パット

研磨パット


    

    


		
            


                

					



	
不織布と樹脂を組み合わせたポバールの研磨パッド　KVシリーズ







	
不織布層と樹脂層を交互に組み合わせたパッドです。


不織布層で研磨スラリーを積極的に保持し、ワークにケミカル作用を効率的に効かせます。ケミカルが効率的に効くことで傷が出にくくなります。また、不織布層がパッドの柔軟性を発現させ曲面のワークにも追従しやすくなっています。


さらに垂直に向いた樹脂層を配置することで均一に削り取る作用、そして研磨くずを排出する作用を兼ね備えます。このことにより、高研磨レートと傷の発生のしにくさを狙っています。


また、垂直方向に向いた樹脂層はその硬さによって対象ワークを支え、仕上がりの平坦度が向上します。


 








		
	






	
KVシリーズの使用例







	
長年の樹脂加工技術を駆使し、樹脂含浸をミクロン単位で制御することで可能となる驚異的な研削力を有する研磨パッドです。高平坦性や高研磨レートなど一般的に求められる機能を有した一連の既成品を販売するのではなく、顧客やユーザーの研磨条件に最良にマッチングする研磨パッドを制作しています。


同じ素材に同じ樹脂を同じ量入れても、樹脂構造をミクロン単位に制御することにより研磨性能は大きく変わります。SiC、GaNなど従来の技術では加工が難しい次世代デバイス基盤にも対応いたします。


古くはブラウン管の研磨に使用しており、昨今では次世代半導体分野へも採用されています。







	
次世代半導体ウェハ用研磨パッドとして







	
PKシリーズ

SiCウェハで非常に良い面が得られています。

※不織布と樹脂を組み合わせた研磨パッドです。研磨パッドのベーシックタイプです。








		
	






	
シリコンウェハ用研磨パッドとして







	
シリコンウエハー、ガラス、金属などを傷つけずに磨きます。長年の実績から得た高分子材質選定技術と樹脂処理技術をもとに最適な研磨具を作っています。